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參數(shù)

值

單位

流量范圍

0.05, 0.1,  0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10

20, 50, 100,  (200¹)

ln/min or  slm

精度²
兩者以較大者為準(zhǔn)

0.8

1

% s.p.³

0.08

0.1

% FS

重復(fù)性
兩者以較大者為準(zhǔn)。

0.1

0.2

% s.p.

0.01

0.02

% FS

穩(wěn)定時間典型值⁴

100 (50  for optimized OEM versions ⁵)

ms

取樣頻率

1000

Hz

量程比⁶

超過 1000:1

標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定氣體

Air/N₂,  H₂, O₂, He, Ar, CO₂

用氣體轉(zhuǎn)換標(biāo)定的氣體⁷

標(biāo)準(zhǔn): SF₆, C₄F₈
 OEM版，可根據(jù)要求與其他氣體或混合物

工作溫度(環(huán)境和氣體)

0 – 50 /  32 – 122

°C / °F

Temp.  coeff. zero

0.005

% FS / °C

Temp.  coeff. span

0.06

% s.p. /  °C

全量程壓降
 SFC5400
 SFM5400

 < 2.0 / 29
 < 0.1 / 1.5

 < 3.0 / 43
 < 0.2 / 3

bar / psig

輸入最大壓力⁸

10 / 145

bar / psig

最大差壓⁹

5 / 73

4 / 58

bar / psig

MFC外部泄漏

9 x 10^-9

9 x 10^-6

mbar l/s  He

電磁閥泄露量

1 x 10^-6

mbar l/s  He

熱機時間¹⁰

1

sec

參數(shù)

值

描述

文檔查找地方

產(chǎn)品型號

SFC5400
 SFM5400

質(zhì)量流量控制器
質(zhì)量流量計

X –電氣通訊

U
 W
 C
 Q
 R
 S
 L

模擬電壓 0-5 VDC
模擬電壓0-10 VDC
模擬電流 4-20 mA
模擬電壓+RS485  0-5  VDC
模擬電壓+RS485 0-10 VDC
模擬電壓+RS485t 4-20 mA
數(shù)字 RS485 & Devicenet & IO-Link

第三部分

A –  本體材料

A

Aluminum  (steel on request for OEM volumes)

表二

Z –  連接

5
 6
 7
 A
 B
 D
 E
 W
 C
 F
 G
 H
 I

Swagelok  6mm
 Swagelok 1/4"
 Swagelok 1/8"
 Legris 6 mm
 Legris 8 mm
 Legris 10 mm
 Legris 12 mm
 W-seal
 C-seal
 SAE/MS; 9/16-18 UNF Thread
 Downmount, Manifold
 VCO 1/4"
 VCR 1/4"

第四部分

氣體

Air/N2,  H2, O2, He, Ar, CO2, SF6, C4F8

表1

流量范圍

0.05,  0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100 slm

表1

單位

mln/min
 ln/min
 sccm
 slm

標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘
標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘
標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘
標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘

表7